This plasma sterilization device winding does coil electrode 3 in the glass tube 2 which is thrown to the bottle 1 of suffering sterilization processing ones which possess the open part, does the decompression by vacuum blower 7 in chest 4, supplies oxygen gas 62 from oxygen gas feeder 6 vis-a-vis inside glass tube, 2 impressing high frequency current from high frequency power source section 5 vis-a-vis coil electrode 3, discharges. This way, this plasma sterilization device generates active oxygen kind to high density due to the air current which is formed with active oxygen kind and the vacuum blower 7 which are discharged inside bottle 1 by the plasma by high frequency current not only the inner wall of bottle 1 it is possible to the external wall to sterilize securely efficiently continually.本プラズマ滅菌装置は、開口部を有する被滅菌処理物のボトル1に投入されるガラス管2にコイル電極3を巻回し、密閉容器4に真空ポンプ7による減圧を行い、ガラス管2の内部に対して酸素ガス供給装置6から酸素ガス62を供給し、高周波電源部5からコイル電極3に対して、高周波電流を印加して放電を行う。このように、本プラズマ滅菌装置は、高周波電流によるプラズマによりボトル1の内部で放出される活性酸素種及び真空ポンプ7により生成する気流により活性酸素種を高密度に発生させ、ボトル1の内壁のみならず外壁まで確実に効率良く連続的に滅菌することができる。