LHO, TAI HYEOP,노태협,SEOK, DONG CHAN,석동찬,LHO, TAI HYEOPKR,SEOK, DONG CHANKR
申请号：
KR1020130072146
公开号：
KR1014741470000B1
申请日:
2013.06.24
申请国别(地区):
KR
年份:
2014
代理人:
摘要：
The present invention relates to a plasma sterilization apparatus. According to the present invention, the plasma sterilization apparatus comprises: a reaction chamber； a vacuum generation unit connected with the reaction chamber and making vacuum state inside the reaction chamber； a peroxide supply unit supplying gas phase peroxide to the reaction chamber； a microwave plasma generation unit generating plasma by using microwave； and a gas circulation unit including a connection pipe connected to the reaction chamber and a circulation pump, wherein the gas circulation unit circulates gas in the reaction chamber through the connection pipe.본 발명은 플라즈마 멸균 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 플라즈마 멸균 장치는, 반응 챔버； 상기 반응 챔버와 연결되고, 상기 반응 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부； 상기 반응 챔버에 기체 상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부； 마이크로웨이브를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 마이크로웨이브 플라즈마 발생부； 및 상기 반응 챔버에 연결된 연결 배관 및 순환 펌프를 포함하는 가스 순환부； 를 포함하고, 상기 가스 순환부는 상기 반응 챔버 내의 가스를 상기 연결 배관을 통하여 순환시킨다.
