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基板ホルダ及びこれを用いた全面成膜基板の製造方法
- 专利权人:
- 旭硝子株式会社
- 发明人:
- 宮澤 英明,赤尾 安彦,藤井 健輔,高木 悟,藤原 晃男
- 申请号：
- JP20140553214
- 公开号：
- JPWO2014098200(A1)
- 申请日:
- 2013.12.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 全面成膜基板の生産性を良好にする基板ホルダ、及び該基板ホルダを用いたた全面成膜基板の製造方法の提供。第一の主面が全面成膜される基板を保持する基板ホルダであって、前記基板の主面よりも小面積の主面を有する板状部材であるユニット基体と、前記ユニット基体の第一の主面に固定され、前記基板の第二の主面に対して付着する剥離性表面を有する密着層と、から構成されるホルダユニットと、前記ユニット基体の主面よりも大面積のユニット固定面を有し、前記ユニット固定面と前記ユニット基体の第二の主面とが対面する向きで、複数個の前記ホルダユニットが前記ユニット固定面に固定された、キャリアと、を備える基板ホルダ、及びこれを用いた全面成膜基板の製造方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
