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テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッド
- 专利权人:
- ネクスプラナー コーポレイション
- 发明人:
- ポール アンドレ ルフェーブル,ウィリアム シー． アリソン,アレクサンダー ウィリアム シンプソン,ダイアン スコット,ピン フアン,レスリー エム． チャーンズ,ジェイムズ リチャード ラインハート,ロバート ケープリッチ
- 申请号：
- JP20160220375
- 公开号：
- JP2017071053(A)
- 申请日:
- 2016.11.11
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッドの提供。【解決手段】テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッド２００が、説明される。テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッドを製作する方法もまた、説明される。また、基板を研磨するための研磨パッドは、裏面２０１Ｂの反対に研磨側２０１Ａを有する研磨体２００Ａを含む。研磨パッドはまた、研磨体の研磨側と連続している複数の突出部２０２を有する研磨表面を含む。各突出部は、研磨体から遠位の平坦表面と、平坦表面から研磨体に向かって外向きにテーパ状の側壁とを有する。【選択図】図２−１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
