表面選択性研磨組成物
- 专利权人:
- 株式会社フジミインコーポレーテッド
- 发明人:
- キム フーイーサン,ミラー アン
- 申请号：
- JP20140559578
- 公开号：
- JPWO2014119301(A1)
- 申请日:
- 2014.01.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明は、酸化シリコン表面に対する窒化シリコン（ＳｉＮ）表面の、及び／又は多結晶シリコン（ポリシリコン）表面に対するＳｉＮ表面の高い研磨率比を示す研磨組成物を提供する。いくつかの態様において、本発明の研磨組成物は、コロイダルシリカ及び１つ以上の水溶性ポリマーを含み、６以下のｐＨを有する。コロイダルシリカはその表面に結合した状態で１つ以上の有機酸を含み、水溶性ポリマーはヒドロカルビル基が１２以上の炭素原子を有するポリオキシアルキレンヒドロカルビルエーテルである。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
