テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッド

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专利权人:

ネクスプラナー コーポレイション

发明人:

ルフェーブル， ポール アンドレ,アリソン， ウィリアム シー．,シンプソン， アレクサンダー ウィリアム,スコット， ダイアン,フアン， ピン,チャーンズ， レスリー エム．,ラインハート， ジェイムズ リチャード,ケープリッチ， ロバート

申请号：

JP20160500664

公开号：

JP6085064(B2)

申请日:

2014.03.05

申请国别(地区):

日本

年份:

2017

代理人:

摘要：

Polishing pads having a polishing surface with continuous protrusions having tapered sidewalls are described. Methods of fabricating polishing pads having a polishing surface with continuous protrusions having tapered sidewalls are also described.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/