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針状体の版型製造方法および針状体の製造方法
专利权人:
凸版印刷株式会社
发明人:
上野 雅弘,杉村 浩
申请号:
JP2006203188
公开号:
JP4936214B2
申请日:
2006.07.26
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a plate which is suitable for the large-scale production for manufacturing a fine array-like needle-like body which has a sharp distal end part and a thick base part and shows an excellent strength and a method for manufacturing the biocompatible needle-like body by using the plate.SOLUTION: The method for manufacturing the plate for forming the needle-like bodies integrally molded in an array shape on a substrate 10 includes (1) the process of performing a first process of forming a mask 11 having opening parts at positions where hole shapes corresponding to a plurality of needle-like bodies are formed and of forming the hole shapes which correspond to main bodies of the needle-like bodies, are vertically cut deep, and have the shape of a rectangular solid by using a dry etching method and (2) the process of performing a second process of peeling the mask 11 and forming the distal end part of the needle-like body and a slanting shape at a site corresponding to the base part by crystal anisotropic etching.COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT【課題】大量生産に適し、先端部が鋭利で根元部が太く、強度の高い微細なアレイ状の針状体を製造するための版型と、該版型を用いる、生体に適合する針状体の製造方法を提供すること。【解決手段】基板10上に、アレイ状に一体成型することの出来る、針状体を形成するための版型を製造する方法であって、(1)複数の針状体に対応する穴型を形成すべき箇所を開口部とするようなマスク11を形成し、ドライエッチング法を用いて針状体の本体に対応する垂直に深掘りされた直方体状の穴型を形成する第1のプロセスを施す工程と、(2)前記マスク11を剥離し、結晶異方性エッチングによって針状体の先端部および根元部に対応する部位に傾斜形状を形成する第2のプロセスを施す工程と、を有してなることを特徴とする前記製造方法。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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