PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a needle-like body which is suitable for mass production, has a taper angle with a smooth side, and can manufacture even in a shape with a sharp tip part of the needle-like body.SOLUTION: The method includes a process for coating a transparent base material with negative photoresist and a process for performing exposure processing to the negative photoresist from the transparent base material side by using a mask having an opening part. The mask having the opening part has a micro-lens for collecting transparent light passing through the opening part to the negative photoresist. A size and a shape of the needle-like body can be controlled, by controlling a diameter and curvature of the micro-lens.COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT【課題】大量生産に適し、側面が滑らかなテーパ角を有し、針状体の先端部を先鋭化した形状であっても製造可能な針状体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する工程と、前記ネガ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光処理を行う工程と、を含み、前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ネガ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有することを特徴とし、マイクロレンズの径および曲率を制御することにより、針状体の寸法および形状を制御することが出来る。【選択図】 図1
