您的位置: 首页 > 农业专利 > 详情页

ULTRASONIC TRANSDUCER, BIOLOGICAL SENSOR, AND METHOD FOR MANUFACTURING ULTRASONIC TRANSDUCER
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
NAKAMURA TOMOSUKE,中村 友亮,SUZUKI HIRONORI,鈴木 博則
申请号:
JP2011122158
公开号:
JP2012253405A
申请日:
2011.05.31
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic transducer having stable driving characteristics, a biological sensor provided with the ultrasonic transducer, and a method for manufacturing the ultrasonic transducer.SOLUTION: An ultrasonic transducer 10 comprises: a photosensitive film 11 provided with an opening 111 and having photosensitivity; a support film 12 for closing the opening 111 of the photosensitive film 11; and a piezoelectric element 20 provided on a membrane 121 of the support film 12, which closes the opening 111, and constituted by laminating a lower electrode layer 21, a piezoelectric layer 22, and an upper electrode layer 23.【課題】安定した駆動特性の超音波トランスデューサー、当該超音波トランスデューサーを備えた生体センサー、及び当該超音波トランスデューサーの製造方法を提供する。【解決手段】超音波トランスデューサー10は、開口部111が設けられ、感光性を有する感光性フィルム11と、感光性フィルム11の開口部111を閉塞する支持膜12と、支持膜12のうち開口部111を閉塞するメンブレン121に設けられ、下部電極層21、圧電層22、及び上部電極層23が積層されて構成される圧電素子20と、を具備した。【選択図】図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

匿名:登录

个人用户登录

找回密码

第三方账号登录

忘记密码

个人用户注册

必须为有效邮箱
6~16位数字与字母组合
6~16位数字与字母组合
请输入正确的手机号码

信息补充