PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic transducer device that avoids an increase in wiring resistance while including a piezoelectric film per vibrating film.SOLUTION: In a base 21, a plurality of vibrating films 24 are arranged in an array form. On the vibrating films 24, piezoelectric films 53 are formed on first electrode films 27. Second electrode films 26 are formed on the piezoelectric films 53. First conductive films 54 formed with a thickness larger than that of the first electrode films 27 are connected to the first electrode films 27. The first conductive films 54 function as wiring films of the first electrode films 27. The first conductive films 54 have a sufficient thickness.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】振動膜ごとに圧電体膜を有しながら配線抵抗の上昇を回避した超音波トランスデューサー装置を提供する。【解決手段】基体２１には複数の振動膜２４がアレイ状に配置される。振動膜２４上では第１電極膜２７上に圧電体膜５３が形成される。圧電体膜５３上には第２電極膜２６が形成される。第１電極膜２７には第１電極膜２７の膜厚よりも大きい膜厚で形成される第１導電膜５４が接続される。第１電極膜５４は第１電極膜２７の配線膜として機能する。第１導電膜５４には十分な膜厚が確保される。【選択図】図４
