化学－机械研磨设备中的浆料再循环
- 专利权人:
- 集成工艺设备有限公司
- 发明人:
- 约翰·A·阿达姆斯,杰拉尔德·A·库里克,C·兰多·哈伍德
- 申请号：
- CN97116136.4
- 公开号：
- CN1176864A
- 申请日:
- 1997.07.29
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 1998
- 代理人:
- 顾峻峰
- 摘要：
- 使再循环浆料连续不断地与使用中的浆料混合,可以提供一个一致的研磨速率,同时只消耗或废弃了一小部分连续流过研磨垫板的浆料。浆料是在一收集环内回收,并送到一个再循环回路中,从而使该回收浆料与新鲜浆料、再生化学物或水混合;测试混合物;过滤混合物;使混合物返回研磨垫板。返回研磨垫板的体积略大于回收的体积,因而使收集环溢流。也可以用同样的方式使冲洗水再循环,以便使研磨垫板在两个研磨周期之间保持湿润。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
