化学机械研磨(CMP)浆料的使用点回收系统
- 专利权人:
- 应用材料公司
- 发明人:
- 安德烈亚斯·纽伯,菲尔·钱德勒,克利福德·斯托,丹尼尔·O·克拉克,迈克·科菲尔,加米尔·莱斯顿
- 申请号：
- CN201080013937.2
- 公开号：
- CN102365716A
- 申请日:
- 2010.03.23
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 柳春雷
- 摘要：
- 本发明主要是关于从化学机械研磨(CMP)过程中回收研磨浆料及冲洗水的装置和方法。本发明也是关于使用离心泵来进行流变学测量及聚结预防。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
