降能器及具备该降能器的带电粒子照射系统
- 专利权人:
- 住友重机械工业株式会社
- 发明人:
- 上田隆正
- 申请号：
- CN201180004541.6
- 公开号：
- CN102763169A
- 申请日:
- 2011.11.16
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种可调节带电粒子的能量的衰减量，并且可调节带电粒子束的射束束径扩大的降能器及具备降能器的带电粒子照射系统。在降能器（10）中，设为具备衰减材料（11）的结构，使入射至衰减材料的带电粒子减速来衰减能量。设置向第1轴线方向X驱动衰减材料（11）的能量调整用驱动构件，并改变带电粒子相对于第1衰减材料的入射位置，从而可调节带电粒子的衰减量。另外，设置向第2轴线方向Y驱动衰减材料（11）的射束束径调整用驱动构件，并改变衰减材料（11）在带电粒子束的前进方向上的位置，从而调节射束束径扩大。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
