降能器及具备该降能器的带电粒子束照射系统
- 专利权人:
- 住友重机械工业株式会社
- 发明人:
- 宫下拓也,上田隆正
- 申请号：
- CN201280026887.0
- 公开号：
- CN103582915A
- 申请日:
- 2012.04.06
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种降能器（10）及具备该降能器的带电粒子束照射系统，所述降能器能够缓解能量较低的带电粒子束的透射率的下降。本发明的降能器（10）具备能量衰减量不同的多个衰减部件（11A～11G），由透射率高于能量衰减量较小的高能量侧衰减部件（11A）的材质来形成能量衰减量较大的低能量侧衰减部件（11G）。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
