带电粒子束照射装置
- 专利权人:
- 住友重机械工业株式会社
- 发明人:
- 佐野正美
- 申请号：
- CN201280019738.1
- 公开号：
- CN103492025A
- 申请日:
- 2012.03.07
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种实现小型化的带电粒子束照射装置。带电粒子束照射装置（10）具备：传输线路（31），传输带电粒子束；照射部，向被照射体照射带电粒子束；及旋转机架（12），支承传输线路（31）及照射部，且具有能够绕旋转轴线P旋转的筒体（13），其中传输线路（31）的倾斜部（33）设为通过筒体（13）内而配置的结构。由此，减小向径向突出的传输线路（31）的突出量。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
