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带电粒子束照射装置
专利权人:
住友重机械工业株式会社
发明人:
小笠原毅
申请号:
CN201280026759.6
公开号:
CN103563007A
申请日:
2012.06.15
申请国别(地区):
CN
年份:
2014
代理人:
摘要:
本发明的带电粒子束照射装置(1)具备:回旋加速器(3),对带电粒子进行加速来射出带电粒子束(P);真空导管(7),将从回旋加速器(3)射出的带电粒子束(P)向照射喷嘴(5)传输;延长导管(10),在照射喷嘴(5)内配置于带电粒子束的行进线路上,内部填充有惰性气体,并且在入口及出口具有使带电粒子束(P)透射的卡普顿膜(13、14);气体供给部(20),向延长导管(10)内供给氦气;扫描磁铁(12),配置于延长导管(10)周围,且扫描带电粒子束(P);及泄漏阀(36),当延长导管(10)的内部压力在设定压力以上时,使延长导管(10)内的氦气泄漏到外部,其中,气体供给部(20)具有氦气供给量各不相同的供给管路A~C。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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