压电阀模块、制造和操作阀模块的方法以及呼吸辅助装置

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专利权人:

意法半导体股份有限公司

发明人:

D·朱斯蒂,O·R·A·迪马尔科,I·瓦里斯科

申请号：

CN201910190624.7

公开号：

CN110269991A

申请日:

2019.13.03

申请国别(地区):

CN

年份:

2019

代理人:

摘要：

本公开的各实施例涉及电阀模块、用于制造阀模块的方法、用于操作阀模块的方法、以及包括一个或多个阀模块的呼吸辅助装置。一种阀模块包括半导体本体、在半导体本体中的彼此隔开一定距离的空腔、悬置在每个空腔之上以使能空腔的至少部分闭合的悬臂结构、以及用于每个悬臂结构的压电致动器。压电致动器被配置用于引起相应悬臂结构的正弯曲并且因此调节通过阀模块的气流的速率。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/