PUSAN NATIONAL UNIVERSITY INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION
发明人:
홍석원,HONG, SUCK WONKR
申请号：
KR1020170021779
公开号：
KR1017879450000B1
申请日:
2017.02.17
申请国别(地区):
KR
年份:
2017
代理人:
摘要：
According to an embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a display device, comprising: forming a first metal layer on a transparent substrate； Forming a first photoresist layer over the first metal layer and aligning the photomask over the first photoresist layer； Exposing and developing the photomask to form a pattern on the first photoresist layer, and removing the photomask； Etching the first metal layer and removing the first photoresist layer； Forming a second photoresist layer on the first metal layer, exposing and developing the lower portion of the transparent substrate to produce a microneedle template； And forming a second metal layer on the microneedle template and removing the microneedle template. The present invention also provides a method of manufacturing a mold for a microneedle.본 발명의 일 실시예에 따르면, 투명 기판 상에 제1 금속층을 형성하는 단계； 상기 제1 금속층 상부에 제1 포토레지스트층을 형성하고, 상기 제1 포토레지스트층 상부에 포토마스크를 정렬하는 단계； 상기 포토마스크 상부에서 노광 및 현상하여 상기 제1 포토레지스트층에 패턴을 형성하고, 상기 포토마스크를 제거하는 단계； 상기 제1 금속층을 식각(etching)하고 상기 제1 포토레지스트층을 제거하는 단계； 상기 제1 금속층 상부에 제2 포토레지스트층을 형성하고, 상기 투명 기판 하부에서 노광 및 현상하여 마이크로니들 템플레이트를 제조하는 단계； 및 상기 마이크로니들 템플레이트 상부에 제2 금속층을 형성하고, 상기 마이크로니들 템플레이트를 제거하는 단계；를 포함하는, 마이크로니들용 몰드의 제조방법이 제공된다.
