CHO, DONG IL,조동일,KOO, KYO IN,구교인,LEE, SANG MIN,이상민,PARK, HO SOO,박호수
申请号：
KR1020100071769
公开号：
KR1020120010325A
申请日:
2010.07.26
申请国别(地区):
KR
年份:
2012
代理人:
摘要：
PURPOSE: A method for manufacturing an arrowhead-shaped micro-electrode array is provided to minimize a physical effect due to biological tissue.CONSTITUTION: A method for manufacturing an arrowhead-shaped micro-electrode array comprises: a step of etching a first area on a substrate a step of successively forming a first conductive layer(102) and a second conductive layer(103) in the first area a step of etching a second area on the substrate a step forming a first high molecular material layer on the second area a step of forming a second high molecular material layer on the front of the substrate a step of partly eliminating the second high molecular material layer a step of forming a third conductive layer(106) connected to the second conductive layer on the top of the substrate a step of forming a third high molecular material layer on the front of the substrate and a step of partly eliminating the third high molecular material layer.COPYRIGHT KIPO 2012지지벽으로 둘러싸인 화살촉 구조의 미세 전극 어레이의 제조 방법은, 기판의 제1 영역이 식각되며, 식각된 상기 제1 영역의 바닥면은 뾰족한 형상을 갖도록 상기 기판을 식각하는 단계 식각된 상기 제1 영역에 제1 도전층 및 제2 도전층을 순차적으로 형성하는 단계 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 둘러싸는 상기 기판의 제2 영역을 식각하는 단계 및 상기 제2 영역에 제1 고분자 물질층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 이상과 같이 제조된 지지벽으로 둘러싸인 화살촉 구조의 미세 전극은 생체 신호의 기록 및/또는 전달 대상에 안정적인 밀착을 담보하고, 생체 내 이식 시 생체 조직에 의한 물리적 영향을 최소화할 수 있다. 또한, 지지벽으로 둘러싸인 화살촉 구조의 미세 전극은 균일한 어레이, 오목한 어레이, 또는 볼록한 어레이 등의 미세 전극의 어레이로 구성될 수도 있다.
