THOMAS, E. FISK,JOHN FERGUSON,JONATHAN R. FREEDMAN
申请号:
MX2011012042
公开号:
MX350703B
申请日:
2010.05.12
申请国别(地区):
MX
年份:
2017
代理人:
摘要:
A method for inspecting the product of a coating process is provided. Therein, the release of at least one volatile species from the coated surface into the gas space adjacent to the coated surface is measured and the result is compared with the result for at least one reference object measured under the same test conditions. Thus the presence or absence of the coating, and/or a physical and/or chemical property of the coating can be determined. The method is useful for inspecting any coated articles, e.g. vessels. Its application on the inspection of PECVD coatings made from organosilicon precursors, especially of barrier coatings, is also disclosed.Se proporciona un método para inspeccionar el producto de un proceso de revestimiento. En este, se mide la liberación de al menos una especie volátil de la superficie revestida en el espacio gaseoso adyacente a la superficie revestida y el resultado se compara con el resultado de al menos un objeto de referencia medido en las mismas condiciones de prueba. De esa forma, puede determinarse la presencia o ausencia del revestimiento y/o una propiedad física o química del revestimiento. El método es útil para inspeccionar todo tipo de artículos revestidos, p. ej., recipientes. También de describe su aplicación en la inspección de revestimientos mediante PECVD hechos de precursores organosilícicos, especialmente revestimientos de barrera.