实心微针阵列的切割制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 刘景全,闫肖肖,杨春生,芮岳峰,李以贵
- 申请号：
- CN201010178571.6
- 公开号：
- CN101829395B
- 申请日:
- 2010.05.20
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 一种生物医学工程技术领域的实心微针阵列的切割制备方法，采用斜边宽底切割刀与直边宽底切割刀组合或直接采用斜边宽底切割刀，根据切割方向、切割深度和切割间距对硅片进行切割得到微针初坯，最后采用湿法腐蚀修饰微针初坯，得到基于切割的实心微针。本发明制备方法简单且采用机械加工，尺寸可控；采用湿法刻蚀微针针尖，成本低利于普及。制造出的微针形状多样，且针尖较尖锐，利于刺入皮肤。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
