Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung (5) zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas, mit einer ersten Elektrode (7) und einer zweiten Elektrode (9), die durch ein dielektrisches Element (11) elektrisch voneinander isoliert und voneinander beabstandet sind. Es ist vorgesehen, dass die erste Elektrode (9) – in Richtung der Beabstandung der Elektroden (7, 9) voneinander gesehen – eine Dicke von mindestens 10 µm aufweist, wobei die zweite Elektrode (9) – in Richtung der Beabstandung der Elektroden (7, 9) voneinander gesehen – eine Dicke von mindestens 5 µm bis höchstens 30 µm aufweist, und wobei das dielektrische Element (11) eine Dicke von mindestens 10 µm bis höchstens 250 µm aufweist.The invention relates to an electrode assembly (5) for producing a non-thermal plasma, comprising a first electrode (7) and a second electrode (9) which are electrically isolated from one another and spaced from each other by a dielectric member (11). It is provided that the first electrode (9) - seen in the direction of the spacing of the electrodes (7, 9) from each other - has a thickness of at least 10 microns, wherein the second electrode (9) - in the direction of the spacing of the electrodes (7 , 9) seen from each other - has a thickness of at least 5 microns to at most 30 microns, and wherein the dielectric element (11) has a thickness of at least 10 microns to at most 250 microns.
