FIGUEIRA DA SILVA SYLVICLEY,피구에이라 다 실바 실비클레이,FRISCHMUTH TOBIAS,프리슈무스 토비아스,GRILLE THOMAS,그릴 토마스,HEDENIG URSULA,헤데니그 우르슐라,IRSIGLER PETER,어시글러 피터,SCHMID ULRICH,슈미드 울리히,SILVANO DE SOUSA JONATHAN,실바노 드 소우사,FIGUEIRA DA SILVA SYLVICLEYBR,FRISCHMUTH TOBIASAT,GRILLE THOMASDE,HEDENIG URSULAAT,IRSIGLER PETERAT,SCHMID ULRICHDE,SILVANO DE SOUSA JONATH
申请号：
KR1020150070533
公开号：
KR1020150134284A
申请日:
2015.05.20
申请国别(地区):
KR
年份:
2015
代理人:
摘要：
Various embodiments described in the present specification have a capacitive thermometer comprising: a membrane which can be biased； and a sensing electrode. The membrane which can be biased adjusts a capacitive value based on a temperature of the membrane which can be biased. The sensing electrode has a rigid sensing electrode, and the membrane which can be biased forms the rigid sensing electrode and a parallel plate capacitor； and a capacitive MEMS thermometer also has a first thermal material and a second thermal material.본 명세서에 설명된 다양한 실시예는 편향가능한 멤브레인과 감지 전극을 포함하는 정전용량식 온도계를 포함한다. 편향가능한 멤브레인은 편향가능한 멤브레인의 온도에 기초하여 정전용량 값을 조정한다.
