The present invention relates to a sterilization apparatus using chlorine dioxide gas, a chamber provided with a sterilization chamber, a chlorine dioxide gas generator for generating wet chlorine dioxide gas from stabilized chlorine dioxide, and the concentration of chlorine dioxide gas in the chamber A photoionization detector that performs the sterilization process, an electronic control unit that controls the sterilization process, a chlorine dioxide gas adsorption and removal unit that removes chlorine dioxide gas remaining in the chamber after completing the sterilization process, and a sterilization process condition. A chlorine dioxide gas generator is formed by forming a sterilizer using wet chlorine dioxide gas, including an operation panel composed of an input unit for inputting and a display unit for displaying the sterilization work status, and a printer for outputting a sterilization work breakdown. And the maximum peak wavelength is 253.7 nm and the radiation output is 1.2 to 11 mW / cm 2. Generating a wet chlorine dioxide gas, an invention to provide a sterilization method using the wet chlorine dioxide gas for causing sterile until said wetted chlorine dioxide gas into the sterilization objects exposed predetermined time apo.本発明は二酸化塩素ガスを利用した滅菌装置において、滅菌室が備えられるチャンバと、安定化二酸化塩素から湿潤二酸化塩素ガスを発生させる二酸化塩素ガス発生部と、チャンバ内の二酸化塩素ガスの濃度を測定する光イオン化検出部と、滅菌作業工程を制御する電子制御部と、滅菌作業工程を完了した後チャンバ内に滞留している二酸化塩素ガスを除去する二酸化塩素ガス吸着除去部と、滅菌作業条件を入力する入力部及び滅菌作業状態を表示する表示部で構成される操作パネルと、滅菌作業内訳を出力するプリンターとを含んで湿潤二酸化塩素ガスを利用した滅菌装置を形成し、二酸化塩素ガス発生部で最大ピーク波長が２５３．７ｎｍ、放射出力１．２～１１ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を安定化二酸化塩素に照射して湿度６５％～９５％の湿潤二酸化塩素ガスを発生し、前記湿潤二酸化塩素ガスに滅菌対象物を一定時間露出させてアポまで滅菌させることを特徴とする湿潤二酸化塩素ガスを利用した滅菌方法を提供する発明である。
