您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
蒸発源移送ユニット、蒸着装置及び蒸着方法
- 专利权人:
- ソニック システム リミテッド
- 发明人:
- ユン，ジョン カプ
- 申请号：
- JP20160536953
- 公开号：
- JP2017500445(A)
- 申请日:
- 2013.12.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 蒸発源移送ユニット、蒸着装置及び蒸着方法が開示される。本発明の一側面によると、蒸着チャンバー内に配置されて線形の蒸発源を移送させる蒸発源移送ユニットであって、一つの中心点で前記蒸着チャンバーを横切る仮想の第１放射方向に垂直を成す線形の第１レールと、前記中心点で前記蒸着チャンバーを横切る仮想の第２放射方向に垂直を成す線形の第２レールと、前記第１レールと前記第２レールを繋ぐ曲線の第３レールを含む下側レールと；前記第１レールと離隔され平行を成す線形の第４レールと、前記第２レールと離隔され平行を成す線形の第５レールと、前記第４レールと前記第５レールを繋ぐ曲線の第６レールを含む上側レールと；前記線形の蒸発源が前記下側レールと前記上側レールに対して垂直を成すように結合され、前記下側レー
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
