蒸着装置及び蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ＪＯＬＥＤ
- 发明人:
- 瀧口 明
- 申请号：
- JP20160507301
- 公开号：
- JPWO2015136859(A1)
- 申请日:
- 2015.02.24
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 着装置において、蒸着対象物が内設されるチャンバと、チャンバ内に存し、蒸着材料を収容するための筐体を有する蒸着源６と、蒸着材料を加熱する加熱部とを備え、筐体には、当該筐体の内と外とを連通し蒸着対象物に向けて蒸着材料の蒸気を吐出する複数の吐出口と、開閉可能な排気口とが開設されている。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
