蒸着装置及びその制御方法、蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ＪＯＬＥＤ
- 发明人:
- 瀧口 明
- 申请号：
- JP20160507300
- 公开号：
- JPWO2015136857(A1)
- 申请日:
- 2015.02.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 異なる蒸着材料を共蒸着する蒸着装置であって、蒸着対象物が内設されるチャンバと、蒸着対象物に向けて第１蒸着材料の蒸気を吐出する第１蒸着源と、蒸着対象物に向けて第２蒸着材料の蒸気を吐出する第２蒸着源と、第１蒸着材料を加熱する第１加熱部と、第２蒸着材料を加熱する第２加熱部と、第１加熱部及び第２加熱部を制御する加熱制御部とを備え、加熱制御部は、第２蒸着材料の昇温が、第１蒸着材料の昇温よりも所定時間遅く開始されるように第１及び第２加熱部を制御可能に構成されている。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
