Problem to be solved: to provide a fluid delivery device having a hydrophobic surface.An embodiment of the present invention is directed to a liquid delivery apparatus.A non limiting example of the device includes a substrate containing cavities formed at the surface of the substrate.The apparatus may also include a thin film disposed on the surface of the substrate covering the cavity opening.The apparatus may also include a hydrophobic layer disposed on the thin film.The apparatus may also include a seal disposed between the thin film and the substrate, and the seal surrounds the cavity opening.The apparatus may also include an electrode layer coupled to a thin film.Diagram【課題】疎水性表面を有する流体送達デバイスを提供する。【解決手段】本発明の実施形態は、液体送達装置を対象とする。装置の非限定例は、基板の表面において形成された空洞を含んだ基板を含む。装置は、空洞の開口を覆う、基板の表面上に配設された薄膜を含むこともできる。装置は、薄膜上に配設された疎水性層を含むこともできる。装置は、薄膜と基板との間に配設されたシールを含むこともでき、シールは、空洞の開口を囲む。装置は、薄膜に結合された電極層を含むこともできる。【選択図】図２
