탄성 평면 연마 장치는 각각 적어도 하나 이상의 가공테이블이 설치되는 적어도 2개의 베드; Y축 방향을 따라 이동 가능하면서 연마할 기판을 고정시키기 위한 캐리어가 설치되는 적어도 하나 이상의 가공테이블; 각각의 가공테이블에 설치되며, Z 방향 이동 베이스시트, 주축 모터 및 연마휠을 포함하며, 상기 주축 모터는 상기 Z 방향 이동 베이스시트에 설치되고, 상기 연마휠은 상기 주축 모터와 연결되어, 상기 주축 모터가 상기 연마휠을 회전시킬 수 있으며, 상기 Z 방향 이동 베이스시트는 X축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동 가능하여, 상기 연마휠이 상기 가공테이블의 캐리어 상의 기판을 연마할 수 있는 연마유닛; 상기 각각의 연마유닛에 설치되고, 적어도 하나의 구동장치 및 적어도 하나의 센서를 포함하며, 상기 적어도 하나의 센서가 상기 적어도 하나의 구동장
