The present invention is shielded from the external magnetic field of a high-resolution spectrometer using electron beam or magnetic fields (shield shielding) relates to a magnetic shield method using a magnetic shield and for this. More specifically, the outer surface for shielding in the space x, y, and z axes perpendicular to each of the one or more installed by more than offset coil The location where you want to minimize the magnetic field: a attenuate magnetic sensor for verification installed (for example, the center axis of the electron microscope column) I.e. 2-4 pairs disposed at a position symmetrical with respect to a magnetic sensor for determine the attenuation, 4 to 8 external magnetic sensors And the external magnetic field value received from the magnetic sensor in predetermined calculation processing, and controls the offset added to the offset coil the coil current to cancel the external magnetic variation, the input signal of the position of the magnetic field from the magnetic sensor for determine the attenuation get Controller . relates to the way magnetically shielded magnetically shielded with dual sensor device and it includes a본 발명은 전자빔이나 자기장을 이용한 고분해능 분석장치를 외부의 자기장으로부터 차단(차폐 shielding)하기 위한 자기차폐장치 및 이를 이용한 자기차폐방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 차폐를 위한 공간의 외면에 x, y, z 축에 수직으로 각각 하나 또는 둘 이상씩 설치된 상쇄코일 자기장을 최소화하고자 하는 위치(예: 전자현미경의 컬럼 중심축상)에 설치된 하나의 감쇄확인용 자기센서 상기 감쇄확인용 자기센서를 중심으로 대칭되는 위치에 배치된 2~4쌍 즉, 4~8개의 외부자기센서 및 상기 외부자기센서로부터 입력된 자기장값을 소정의 연산처리하고, 외부 자기변동을 상쇄하는 전류를 상기 상쇄코일에 가하여 상쇄코일을 제어하며, 상기 감쇄확인용 자기센서로부터 그 위치의 자기장 신호를 입력받는 제어기를 포함하는 이중센서 자기차폐장치 및 이를 이용한 자기차폐방법에 관한 것이다.
