您的位置: 首页 > 农业专利 > 详情页

Al−Te−Cu−Zr系合金からなるスパッタリングターゲット及びその製造方法
专利权人:
JX金属株式会社
发明人:
小井土 由将
申请号:
JP20160553148
公开号:
JP6282755(B2)
申请日:
2015.10.08
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
A sputtering target containing 20 at% to 40 at% of Te, 5 at% to 20 at% of Cu, 5 at% to 15 at% of Zr, and remainder being Al, wherein a structure of the sputtering target is comprise of an Al phase, a Cu phase, a CuTeZr phase, a CuTe phase and a Zr phase. The present invention aims to provide an Al-Te-Cu-Zr-based alloy sputtering target capable of effectively suppressing the degradation of properties caused by compositional deviation, as well as a method of manufacturing the same.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

匿名:登录

个人用户登录

找回密码

第三方账号登录

忘记密码

个人用户注册

必须为有效邮箱
6~16位数字与字母组合
6~16位数字与字母组合
请输入正确的手机号码

信息补充