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接合構造体、圧電デバイス、液体噴射ヘッド、及び接合構造体の検査方法
- 专利权人:
- セイコーエプソン株式会社
- 发明人:
- 佐藤 直也
- 申请号：
- JP20150145714
- 公开号：
- JP2017024281(A)
- 申请日:
- 2015.07.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】駆動配線とこれに導通する電極層との接続状態を簡単に検査できる接合構造体、圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び接合構造体の検査方法を提供する。【解決手段】圧力室形成基板２９と赤外線を透過する封止板３３とが貼り合わされた接合構造体であって、圧力室形成基板２９に形成された駆動配線３７と、封止板３３の駆動配線３７に対応する領域において圧力室形成基板２９に向けて突設された樹脂部４０ａと、樹脂部４０ａの表面に沿って形成され、赤外線を反射する電極層４０ｂと、を備え、樹脂部４０ａ及び電極層４０ｂの駆動配線３７側の面は、円弧状に湾曲して形成され、樹脂部４０ａが弾性変形した状態で、駆動配線３７と電極層４０ｂとが導通されている。【選択図】図４
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
