接合体の製造方法、ＭＥＭＳデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、および接合体の製造装置

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专利权人:

セイコーエプソン株式会社

发明人:

▲土▼屋 寛之

申请号：

JP20160246277

公开号：

JP2018030362(A)

申请日:

2016.12.20

申请国别(地区):

日本

年份:

2018

代理人:

摘要：

【課題】複数の構造体を接着剤で接合して接合体とする構成において接着剤の塗布ムラをより確実に検出することにより、接合体における接着不良を未然に抑制することが可能な接合体の製造方法、ＭＥＭＳデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、および接合体の製造装置を提供する。【解決手段】複数の構造体が積層された状態で接着剤２１により相互に接合された接合体の製造方法であって、接着剤層３０を媒体としての転写フィルム３３の一方の面に形成する接着剤層形成工程と、接着剤層形成工程において形成された接着剤層３０の粘度を調整する粘度調整工程と、粘度調整工程において粘度が調整された接着剤層３０を構造体に転写する転写工程と、を含み、転写工程よりも前の段階において、転写フィルム３３上の接着剤層３０の表面

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/