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接合構造体、圧電デバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、接合構造体の製造方法
专利权人:
セイコーエプソン株式会社
发明人:
佐藤 直也
申请号:
JP20160168865
公开号:
JP2018034396(A)
申请日:
2016.08.31
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
【課題】信頼性の低下が抑制された接合構造体、圧電デバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、接合構造体の製造方法を提供する。【解決手段】一の面から突出した樹脂からなる樹脂部38、及び、樹脂部38の一部を覆う第1の電極(導電層39)が形成された第1の基板(封止板33)と、第1の電極(導電層39)に対応する第2の電極(個別端子41)が形成された第2の基板(圧力室形成基板29)と、が第1の電極(導電層39)と第2の電極(個別端子41)とを導通させた状態で接合された接合構造体であって、第1の基板(封止板33)の一の面において樹脂部38が配置される領域は、樹脂部38が一の面と接触している第1の領域53と、樹脂部38が一の面と離間している第2の領域54と、を有し、一の面内において、第
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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