柔性微机械换能器设备及其制造方法
- 专利权人:
- 富士胶片戴麦提克斯公司
- 发明人:
- D·拉特夫,A·哈贾蒂,D·T·艾迈,U·陈
- 申请号：
- CN201480075257.1
- 公开号：
- CN106028942B
- 申请日:
- 2014.17.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 提供了微机械换能器阵列的柔性的技术和结构。在实施方式中,换能器阵列包括多个换能器元件,每一个换能器元件包括压电元件和一个或多个设置在支撑层中或支撑层上的电极。支撑层被结合至包括聚合物材料的柔性层,其中换能器阵列的柔性部分由柔性层的总厚度所产生。在另一实施方式中,换能器阵列的柔性部分由在其中形成的一个或多个折曲结构所产生。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
