分层结构及其制造方法
- 专利权人:
- 大不列颠哥伦比亚大学
- 发明人:
- 卡洛斯·D·吉拉多,罗伯特·洛灵,埃德蒙德·克里图
- 申请号：
- CN201880089581.7
- 公开号：
- CN111742199A
- 申请日:
- 2018.12.18
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 用于制造分层结构的方法和技术，该分层结构如电容微机械超声换能器以及结构自身。层状结构具有膜，该膜包括基于聚合物的层和在基于聚合物的层上的顶部电极。该膜悬置在密封腔上方，并且可以通过在顶部电极与底部电极之间施加电压来致动，顶部电极和底部电极可以沿着密封腔或位于密封腔的底部定位。可以使用表面微加工或晶圆键合工艺来制造所述层状结构。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
