SHAH, Kedar G.,TOLOSA, Vanessa,PANNU, Satinderall S.,TOOKER, Angela,DELIMA, Terri,SHETH, Heeral,FELIX, Sarah
申请号：
USUS2013/055413
公开号：
WO2014/143144A1
申请日:
2013.08.16
申请国别(地区):
WO
年份:
2014
代理人:
摘要：
Thin-film multi-electrode arrays (MEA) having one or more electrically conductive beams conformally encapsulated in a seamless block of electrically insulating material, and methods of fabricating such MEAs using reproducible, microfabrication processes. One or more electrically conductive traces are formed on scaffold material that is subsequently removed to suspend the traces over a substrate by support portions of the trace beam in contact with the substrate. By encapsulating the suspended traces, either individually or together, with a single continuous layer of an electrically insulating material, a seamless block of electrically insulating material is formed that conforms to the shape of the trace beam structure, including any trace backings which provide suspension support. Electrical contacts, electrodes, or leads of the traces are exposed from the encapsulated trace beam structure by removing the substrate.Linvention concerne des réseaux à électrodes multiples (MEA) en couches minces ayant un ou plusieurs faisceaux électroconducteurs encapsulés de manière conforme dans un bloc continu de matériau électriquement isolant, et des procédés de fabrication de tels MEA utilisant des processus de microfabrication reproductibles. Une ou plusieurs pistes électroconductrices sont formées sur un matériau de structure qui est retiré ultérieurement pour suspendre les pistes au-dessus dun substrat par des parties de support du faisceau de piste en contact avec le substrat. Par encapsulation des pistes suspendues, soit individuellement soit ensemble, avec une couche continue unique dun matériau électriquement isolant, un bloc continu de matériau électriquement isolant est formé qui se conforme à la forme de la structure de faisceau de piste, comprenant nimporte quelle parties arrières de piste qui fournit un support de suspension. Des contacts électriques, des électrodes, ou des conducteurs des pistes sont exposés à partir de la structure de faisceau de piste encapsulé par
