感光性転写材料、及び、回路配線の製造方法
- 专利权人:
- 富士フイルム株式会社
- 发明人:
- 松田 知樹,片山 晃男,藤本 進二,山田 悟
- 申请号：
- JP20160162774
- 公开号：
- JP2018031847(A)
- 申请日:
- 2016.08.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】低温ラミネート性に優れ、得られるパターン形状の解像度に優れる感光性転写材料の提供、及び、上記感光性転写材料を用いた回路配線の製造方法の提供。【解決手段】仮支持体、並びに、酸分解性基で保護された酸基を有する構成単位及びカルボン酸無水物構造を有する構成単位を有し、かつガラス転移温度が９０℃以下である重合体と、光酸発生剤とを含む感光性樹脂層を有する感光性転写材料、並びに、上記感光性転写材料を用いた回路配線の製造方法。【選択図】図１
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