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基于光刻等微纳制造工艺的植入式生物电极及其制备方法
- 专利权人:
- 西安交通大学
- 发明人:
- 刘亚雄,秦歌,丁玉成,王会友,白宗旭,杜如坤
- 申请号:
- CN201010180340.9
- 公开号:
- CN101829401B
- 申请日:
- 2010.05.21
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明公开了一种基于光刻等微纳制造工艺制作的植入式生物电极及其制备方法,在金属芯线上包有绝缘套管;在绝缘套管上有螺旋金属引线,螺旋金属引线和绝缘套管封装在聚氨酯绝缘层里,刺激点和连接端金属环分别于两端预留的螺旋金属引线相连;刺激点表层电镀有惰性金属氧化物。该工艺通过溅射或蒸镀在聚氨酯绝缘套管淀积上一层金属薄膜;将淀积的金属薄膜通过光刻,微接触压印和刻蚀工艺制作出初始的螺旋线结构;通过电镀金属来成型最终的螺旋金属引线;将穿有金属芯线的套管放入封装模具中进行封装;对刺激点电镀上一层氧化铱,增加细胞附着性,提高生物相容力;修整,测试导通性,完成电极制作。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/