PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grid having a high-aspect-ratio X-ray absorption unit by stacking a plurality of thin grids with high accuracy.SOLUTION: A small grid 22 comprises a plurality of thin grids 30 to 33 stacked in the direction of X-ray application. The thin grids are interconnected by a connection structure unit 40 comprising, e.g., a recess part 40a provided in a support layer 37 of the first thin grid 30, a first connecting pad 40b provided inside the recess part 40a, a second connecting pad 40c formed on the thin second grid 31, and a connection member 40d for connecting the first connecting pad 40b to the second connecting pad 40c. The connection member 40d is made from a metal having a lower melting point than the thin grids, and joins the first thin grid 30 and the second thin grid 31 to each other by a self-alignment effect due to surface tension when the connection member is melted, in such a manner that the first connecting pad 40b and the second connecting pad 40c directly face each other and that the first thin grid 30 and the second thin grid 31 abut on each other.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】複数枚の薄型グリッドを高精度に積層することにより、高アスペクト比のX線吸収部を備えたグリッドを提供する。【解決手段】小グリッド22は、X線照射方向に積層された複数の薄型グリッド30~33からなる。各薄型グリッドは、例えば第1の薄型グリッド30の支持層37に設けられた凹部40aと、凹部40a内に設けられた第1の接続パッド40bと、第2の薄型グリッド31の上に形成された第2の接続パッド40cと、第1の接続パッド40bと第2接続パッド40cとを接続する接続部材40dとからなる接続構造部40により接合されている。接続部材40dは、各薄型グリッドよりも融点の低い金属からなり、溶融時の表面張力によるセルフアライメント効果により、第1の接続パッド40bと第2接続パッド40cとが正対し、かつ第1の薄型グリッド30と第2の薄型グリッド31とが当接するように両者を接合する。【選択図】図3
