FIFE, KEITH G.,法菲 凯斯 Ｇ,法菲 凱斯 Ｇ,MIAO, LINGYUN,缪淩云,繆淩雲,LIU, JIANWEI,刘 建威,劉 建威,ROTHBERG, JONATHAN M.,罗斯贝格 强纳森 Ｍ,羅斯貝格 強納森 Ｍ
申请号：
TW108141022
公开号：
TW202025970A
申请日:
2019.11.12
申请国别(地区):
TW
年份:
2020
代理人:
摘要：
A method of forming an ultrasonic transducer device includes bonding a membrane to seal a transducer cavity with at least a portion of a getter material layer being exposed, the getter material layer comprising a portion of a bilayer stack compatible for use in damascene processing.本發明提供一種形成超音波換能器裝置之方法，該方法包括將隔膜與暴露之吸氣材料層的至少一部分接合以密封換能器腔室，該吸氣材料層包含可相容用於鑲嵌製程中的雙層堆疊的一部分。
