PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray optical device with a simple configuration capable of efficiently collimating and emitting generated X-rays and capable of obtaining the best image resolution power.SOLUTION: An X-ray optical device includes: an X-ray source 1 and an X-ray reflection structure 3 having at least three X-ray reflection substrates 11 arranged with a clearance therebetween and configured to reflect X-rays incident on a plurality of X-ray paths interposed between the X-ray reflection substrates 11, by the X-ray reflection substrates 11 on both sides of the X-ray paths, and collimate and emit the X-rays from the X-ray paths. If one end face of the X-ray reflection structure 3 is an entrance of X-rays, and the other end face is an exit of the x-rays, a pitch of the X-ray reflection substrates 11 at the exit is larger than a pitch at the entrance. The X-ray source 1 and the X-ray reflection structure 3 are arranged so that a half shadow amount formed by the X-rays emitted from X-ray paths becomes smaller.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】簡易な構造で、発生したX線を効率的に平行化して出射させることができ、像の分解能が最良となるX線光学装置を提供する。【解決手段】X線源1と、間隔を空けて並べて配置された少なくとも3枚のX線反射基板11からなり、X線反射基板11に両側を挟まれた複数のX線通路にそれぞれ入射したX線が、各X線通路の両側のX線反射基板11で反射され平行化されて各X線通路から出射されるX線反射構造体3とを備え、X線反射構造体3の一端面をX線の入口、他端面をX線の出口としたときに出口のX線反射基板11のピッチの方が入口のピッチよりも広くなっているX線光学装置であって、X線源1とX線反射構造体3は、各X線通路から出射されたX線によって形成される半影量を小さくするように配置されていることを特徴とするX線光学装置。【選択図】図1
