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光画像計測装置
专利权人:
KABUSHIKI KAISHA TOPCON
发明人:
SHIMIZU,Hitoshi,清水 仁,FUJIMURA,Takashi,藤村 隆
申请号:
JPJP2013/077470
公开号:
WO2014/077057A1
申请日:
2013.10.09
申请国别(地区):
WO
年份:
2014
代理人:
摘要:
Provided is an optical image measuring device which has a high lateral resolution and is capable of obtaining a generally sharp image. The optical image measuring device according to an embodiment comprises an optical system, an image formation unit, a control unit and a synthetic tomographic image formation unit. The optical system includes a scanning unit which changes an irradiation position of a signal light upon an object and an in-focus position changing unit which changes an in-focus position of the signal light. The optical system detects interference light between return light of each signal light from the object and reference light. The image formation unit forms a tomographic image on the basis of the detection result of a plurality of beams of the interference light that correspond to a plurality of irradiation positions of the signal light. The control unit changes the in-focus position and repetitively irradiates the plurality of irradiation positions with the signal light by controlling the optical system. The synthetic tomographic image formation unit forms one synthetic tomographic image on the basis of two or more tomographic images formed by the image formation unit on the basis of the result of repetitive signal light irradiation.La présente invention concerne un dispositif de mesure dune image optique ayant une résolution latérale élevée et permettant dobtenir une image généralement précise. Le dispositif de mesure dune image optique selon un mode de réalisation comprend un système optique, une unité de formation dimage, une unité de commande et une unité de formation dimage tomographique de synthèse. Le système optique comprend une unité de balayage qui change de position de rayonnement dune lumière de signal sur un objet et une unité de changement de position focale qui change la position focale de la lumière du signal. Le système optique détecte la lumière dinterférence entre la lumière réfléchie par lobjet provenant de chaque lumière de sign
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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