PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical image measuring apparatus having high lateral resolution and being capable of capturing a generally sharp image.SOLUTION: An optical image measuring apparatus according to an embodiment comprises an optical system, an image formation part, a control part, and a synthetic tomogram formation part. The optical part includes: a scanning part for changing a signal light irradiation position on an object and an in-focus position changing part for changing an in-focus position of the signal light. The optical system detects a reference light beam between a return light beam of each signal light beam from the object and a reference light beam. The image formation part forms a tomogram on the basis of detection results of a plurality of interference light beams corresponding to a plurality of irradiation positions of signal light beams. The control part controls the optical system such that a plurality of irradiation positions are repeatedly irradiated with the signal light as the in-focus positions are being changed. The synthetic tomogram formation part forms one synthetic tomogram based on two or more tomograms formed by the image formation part on the basis of results of the repetitious irradiation of the signal light.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】横分解能が高く、かつ全体的にシャープな画像を取得可能な光画像計測装置を提供する。【解決手段】実施形態の光画像計測装置は、光学系と、画像形成部と、制御部と、合成断層像形成部とを有する。光学系は、対象物に対する信号光の照射位置を変更する走査部と、信号光の合焦位置を変更する合焦位置変更部とを含む。光学系は、各信号光の対象物からの戻り光と参照光との干渉光を検出する。画像形成部は、信号光の複数の照射位置に対応する複数の干渉光の検出結果に基づいて断層像を形成する。制御部は、光学系を制御することにより、合焦位置を変更させつつ複数の照射位置に対して信号光を反復的に照射させる。合成断層像形成部は、反復的な信号光の照射の結果に基づき画像形成部により形成された2以上の断層像に基づいて、1の合成断層像を形成する。【選択図】図3
