BADDING, Michael Edward,GORELCHENKO, Petr,SHUBIN, Sergey Nikolaevich,SOROKINA, Ekaterina Sergeevna,ZHUANG, Cheng-Gang
申请号：
USUS2019/032375
公开号：
WO2019/222321A1
申请日:
2019.05.15
申请国别(地区):
US
年份:
2019
代理人:
摘要：
A stiffened thin ceramic membrane comprises a membrane layer with a ceramic composition, a thickness less than or equal to about 100 µm, and a radius greater than or equal to about 20 mm and less than or equal to about 350 mm. A perimetrical glass frit rib is bonded to a first surface of the membrane layer. The perimetrical glass frit rib comprises a thickness between about 10 µm and about 200 µm, and a width of less than or equal to about 10 mm. The perimetrical glass frit rib may be spaced from a perimeter of the membrane layer by less than or equal to about 5.0 mm. The membrane layer with the perimetrical glass frit rib bonded to the first surface comprises an out-of-plane deflection, per unit length, of less than about 0.2 µm/mm and may be utilized as an entry window for a parallel plate ionization chamber.L'invention concerne une membrane céramique mince renforcée comprenant une couche de membrane avec une composition céramique, une épaisseur inférieure ou égale à environ 100 µm, et un rayon supérieur ou égal à environ 20 mm et inférieur ou égal à environ 350 mm. Une nervure de fritte de verre périmétrique est liée à une première surface de la couche de membrane. La nervure de fritte de verre périmétrique comprend une épaisseur comprise entre environ 10 µm et environ 200 µm, et une largeur inférieure ou égale à environ 10 mm. La nervure de fritte de verre périmétrique peut être espacée d'un périmètre de la couche de membrane par une épaisseur inférieure ou égale à environ 5,0 mm. La couche de membrane avec la nervure de fritte de verre périmétrique liée à la première surface comprend une déviation hors plan, par unité de longueur, inférieure à environ 0,2 µm/mm et peut être utilisée comme fenêtre d'entrée pour une chambre d'ionisation de plaque parallèle.
