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OPTICAL IMAGE MEASURING DEVICE
专利权人:
TOPCON CORP;株式会社トプコン
发明人:
SHIBUYA MASAHIRO,澁谷 雅博,MORIGUCHI YOSHIKIYO,森口 祥聖
申请号:
JP2017139356
公开号:
JP2017185342A
申请日:
2017.07.18
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology to acquire an image from which a fixed pattern noise has been removed, regardless of an image or noise mode, without substantially adding hardware.SOLUTION: An optical image measuring device corrects a phase of an interference light spectrum based on an object to be measured, and forms an image based on the corrected spectrum. The optical image measuring device includes an interference optical system, an optical member, and phase correction means. The interference optical system divides a light from a wavelength scan type light source into a signal light and a reference light, and detects an interference light of the signal light and the reference light passing through the object to be measured. The optical member is disposed in a light path of the signal light or in a light path of the reference light. The phase correction means corrects the phase of the spectrum based on the phase shift by the optical member.SELECTED DRAWING: Figure 4【課題】ハードウェアを大幅に追加することなく、画像やノイズの態様にかかわらず固定パターンノイズが除去された画像の取得が可能な技術を提供する。【解決手段】実施形態の光画像計測装置は、被測定物体に基づく干渉光のスペクトルの位相を補正し、補正されたスペクトルに基づいて画像を形成する。光画像計測装置は、干渉光学系と、光学部材と、位相補正手段とを含む。干渉光学系は、波長走査型光源からの光を信号光と参照光とに分割し、被測定物体を経由した信号光と参照光との干渉光を検出する。光学部材は、信号光の光路又は参照光の光路に配置されている。位相補正手段は、光学部材による位相ずれに基づいてスペクトルの位相を補正する。【選択図】図4
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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