粒子ビーム発生装置及びそれを制御する方法

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专利权人:

ジーエスアイ ヘルムホルツツェントゥルム フュア シュヴェリオーネンフォルシュング ゲーエムベーハー

发明人:

クラフト, ゲルハルト,齋藤 奈美,シャルト, ディーター

申请号：

JP2013509580

公开号：

JP5735101B2

申请日:

2011.05.26

申请国别(地区):

JP

年份:

2015

代理人:

摘要：

Accelerator unit for generating particle beam two (12, 13) and (3,8,10), the present invention, radiation and particle beams output those two (12, 13) towards (15) the workpiece particle beam generating apparatus and a (20) unit on (1). Particle beam in two (12, 13) are beams of different types. The present invention further relates to a method for controlling the particle beam generator.本発明は、2つの粒子ビーム(12、13)を発生する加速器ユニット(3、8、10)と、被加工物(15)に向けてそれら2つの粒子ビーム(12、13)を出力する放射ユニット(20)とを備える粒子ビーム発生装置(1)に関する。2つの粒子ビーム(12、13)は、種類の異なるビームである。本発明は、粒子ビーム発生装置を制御する方法に更に関する。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/