用以化学机械研磨的多用途研磨浆施放臂
- 专利权人:
- 台湾积体电路制造股份有限公司
- 发明人:
- 吕芳林,钱文正,张家诚,罗勇往
- 申请号：
- CN200510085447.4
- 公开号：
- CN100426470C
- 申请日:
- 2005.07.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2008
- 代理人:
- 高翔
- 摘要：
- 一种可调整的研磨浆供应设备，用于化学机械研磨工艺中。研磨浆供应臂以可转动的方式安装于研磨设备上，且含有研磨浆供应组件，其中研磨浆供应组件可沿着研磨浆供应臂的长边滑动。上述可调整结构的组合可以让使用者于研磨垫中需要的位置施放研磨浆，其中研磨垫位于研磨设备上。先前所述的研磨浆供应设备可使用马达驱动，如此一来研磨浆供应臂即可自动地旋转，且研磨浆供应组件亦可自动地沿着研磨浆供应臂滑动。而马达可使用计算机控制或靠使用者手动调整。一种使用可调整的研磨浆供应设备的方法亦同时披露。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
