化学机械研磨装置用研磨浆调制供给装置和方法
- 专利权人:
- m.FSI株式会社
- 发明人:
- 川崎政人
- 申请号：
- CN03158420.9
- 公开号：
- CN1491776A
- 申请日:
- 2003.09.09
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2004
- 代理人:
- 马莹`邵亚丽
- 摘要：
- 提供一种研磨浆调制供给装置及方法，即使在从暂时停止的状态再开始供给研磨浆时的初始阶段，也可以高精度地维持研磨浆的混合比例。该研磨浆调制供给装置包括分别用于吸引所述各液的对应于各液数目的吸引口、以及向化学机械研磨装置供给研磨浆的排出口；在从各吸引口至排出口的各液的供给路径上，从各吸引口按基于混合比例的特定量吸引各液，分别配置用于将吸引出的各液向排出口侧排出的供给泵，在各个供给泵的排出侧供给路径上同时设置阻尼器和加压阀，而且，设置用于测定来自设置于这些下流侧的各供给泵的排出量的流量计，以及使用来自该流量计的测定值来控制供给泵的排出流量的运算－控制电路。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
