The present relates to a sterilization apparatus. The sterilization apparatus of the present invention comprises a reaction chamber a vacuum forming unit connected to the chamber for making inside of the chamber vacuum status a hydro-peroxide supplying unit for supplying hydro-peroxide gas to the chamber and a microwave generating unit for generating microwave.COPYRIGHT KIPO 2014본 발명은 멸균 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 멸균 장치는, 반응 챔버 상기 반응 챔버와 연결되고, 상기 반응 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부 상기 반응 챔버에 기체 상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부 및 마이크로웨이브를 발생시키는 마이크로웨이브 발생부를 포함한다.
